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专利状态
高效扩散石英舟
有效
专利申请进度
申请
2017-10-16
授权
2018-04-06
预估到期
2027-10-16
专利基础信息
申请号
CN201721331135.1
申请日
2017-10-16
授权公布号
CN207199589U
授权公告日
2018-04-06
分类号
H01L21/673;H01L31/18
分类
基本电气元件;
申请人名称
常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址
江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
2018-04-06
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及太阳能电池片制备技术领域,尤其涉及一种高效扩散石英舟,能够将硅片先整理成相互贴合在一起,然后进行取放,降低下片的破片率,减少手套与硅片的接触,防止污染,下片快捷方便,省时,增加产能。
更多专利
1
硅片矫正设备
2
太阳能电池片管炉用石墨舟
3
一种纸质护角
4
硅片刻蚀装置
5
全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置
6
光伏组件边框测试装置
7
改良型太阳能电池片扩散炉
8
太阳能电池组件层压工艺中玻璃片上料装置
9
镀膜工艺用多色光源装置
10
一种减少变形的石墨舟
11
电池片生产用水膜装置
12
硅片单面抛光治具
13
高效硅片印刷机
14
太阳能电池板钢化玻璃上料装置
15
用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统
16
管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置
17
燃烧塔燃烧室
18
太阳能电池钢化玻璃包装纸折叠回收装置
19
一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构
20
一种ALD机台载板自动清洁装置
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