管式PECVD炉温度监测装置_专利查询-品牌网

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专利状态

管式PECVD炉温度监测装置

有效

专利申请进度

申请

2018-01-18

授权

2018-08-28

预估到期

2028-01-18

专利基础信息

申请号	CN201820087518.7	申请日	2018-01-18
授权公布号	CN207779587U	授权公告日	2018-08-28
分类号	G01K13/00;G01K1/14
分类	测量；测试;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-08-28

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及管式PECVD炉技术领域，尤其是一种管式PECVD炉温度监测装置，管式PECVD炉包括炉体及用于承载硅片的石墨舟，石墨舟位于炉体的炉膛中，该温度监测装置包括气缸、安装板及若干温度传感器，气缸的缸体固定在炉体的外壁，气缸的活塞杆上固定有吊杆，吊杆伸入到炉膛内，安装板固定在吊杆上，安装板位于炉膛中，若干温度传感器间隔设置在安装板的下方，本实用新型的可有效的监测石墨舟中心温度，了解石墨舟导热情况，监测各温区温度，工艺在温度达到设定值后进行，有效的控制工艺条件，方便进行实验及调试，确保测试值与石墨舟实际温度一致，工艺在温度达到设定值后进行，能够改善整舟电池片的减反射膜膜厚和折射率的均匀性，提升电池片效率。

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