一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟

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专利状态

一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟

有效

专利申请进度

申请

2021-10-19

授权

2022-03-15

预估到期

2031-10-19

专利基础信息

申请号	CN202122520426.8	申请日	2021-10-19
授权公布号	CN216054614U	授权公告日	2022-03-15
分类号	H01L21/673;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2022-03-15

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及电池片生产设备技术领域，尤其是涉及一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟，包括两个端板以及固定在两个端板之间的左定杆组、右定杆组与若干中间杆组；左定杆组与位于最左侧的中间杆组之间以及右定杆组与位于最右侧的中间杆组之间均插设有挡片，相邻两个中间杆组之间插设有电池片。铝舟首尾均增加一列挡片可实现气体进入后接触挡片后进行匀流，再依次接触工艺硅片向炉尾流动保证均匀性，可保证气体完整通过工艺硅片后经由挡片再被尾泵管抽走，保证气流量不偏大，有效改善边片的均匀性。

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