太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置和检测方法

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专利状态

太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置和检测方法

有效

专利申请进度

申请

2017-04-14

申请公布

2017-06-20

授权

2023-04-25

预估到期

2037-04-14

专利基础信息

申请号	CN201710243783.X	申请日	2017-04-14
申请公布号	CN106876298A	申请公布日	2017-06-20
授权公布号	CN106876298B	授权公告日	2023-04-25
分类号	H01L21/66
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2023-04-25

授权

状态信息

授权
2017-07-14

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/66；申请日:20170414
2017-06-20

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供一种太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置和检测方法，上料机构将太阳能电池硅片放置在输送机构，输送机构带动太阳能电池硅片向检测箱方向运动，光电传感器检测到有太阳能电池硅片到达下载板上方时，提升气缸带动下载板向上运动，使下载板盖合在检测箱的开口上，检测箱内部处于无光环境；启动扫描灯，扫描灯的光线照射到太阳能电池硅片上，经过光学系统进入CCD相机成像，并发送图像处理系统对所成的像进行处理，并且与标准的图像进行比对，将比对结果发送至电脑主机，由显示器进行显示，从而实现弯曲度和翘曲度的检测。

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