用于PECVD自动化上下石墨舟的装置

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专利状态

用于PECVD自动化上下石墨舟的装置

有效

专利申请进度

申请

2018-07-13

授权

2019-01-08

预估到期

2028-07-13

专利基础信息

申请号	CN201821119572.1	申请日	2018-07-13
授权公布号	CN208352275U	授权公告日	2019-01-08
分类号	H01L21/677;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2019-01-08

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置，包括底座、门形架、左机械臂和右机械臂，门形架固定设置在底座上，左机械臂可上下滑动的设置在门形架的左外侧，右机械臂可上下滑动的设置在门形架的右外侧，门形架的左内侧还固定设置有左缓存架，门形架的右内侧还固定设置有右缓存架，左缓存架和右缓存架左右一一对称设置。在更换石墨舟的时候，能够进行自动化取放石墨舟，节约人工成本，且一次就能够放到指定的位置。

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