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专利状态

螺旋式卡点石墨舟

有效

专利申请进度

申请

2017-10-16

授权

2018-04-06

预估到期

2027-10-16

专利基础信息

申请号	CN201721331236.9	申请日	2017-10-16
授权公布号	CN207199590U	授权公告日	2018-04-06
分类号	H01L21/673;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-04-06

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及领域，尤其涉及一种螺旋式卡点石墨舟，将卡点改为螺旋式卡点安装在石墨舟舟片上，当卡点磨损时，可以根据实际情况调整卡点的松紧程度，使得硅片始终能与石墨舟舟片保持紧密接触，减少了硅片发红色差返工数量，提高了石墨舟卡点的使用寿命。

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