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专利状态
一种减少变形的石墨舟
有效
专利申请进度
申请
2022-09-20
授权
2023-01-31
预估到期
2032-09-20
专利基础信息
申请号 CN202222484905.3 申请日 2022-09-20
授权公布号 CN218404397U 授权公告日 2023-01-31
分类号 C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673;H01L31/18
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址 江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号
专利法律状态
  • 2023-01-31
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及石墨舟技术领域,尤其是涉及一种减少变形的石墨舟,包括固定组件以及石墨舟本体,石墨舟本体包括若干从前往后依次平行布置的石墨舟片,石墨舟片之间通过若干连接杆串接,且每个连接杆的两端均通过石墨螺母固定,固定组件安装在石墨舟本体底面;固定组件包括若干加强杆,加强杆一端和位于首个的石墨舟片的后端面固定连接,加强杆的另一端和位于最后一个的石墨舟片的前端面固定连接,且加强杆和石墨舟片之间存在夹角,通过在底部添加倾斜的加强杆的设计,使得石墨舟的结构得到了加强,从而减少了石墨舟的扭曲变形量,从而进一步提高了硅片与石墨舟片的密切贴合,减少了漏气的产生,使镀膜更加均匀。