低压扩散尾气收集装置_专利查询-品牌网

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专利状态

低压扩散尾气收集装置

有效

专利申请进度

申请

2018-03-20

授权

2018-11-16

预估到期

2028-03-20

专利基础信息

申请号	CN201820383067.1	申请日	2018-03-20
授权公布号	CN208097611U	授权公告日	2018-11-16
分类号	B01D46/00;B01D53/00;B01D5/00;G01L11/00;C01B25/16
分类	一般的物理或化学的方法或装置;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-11-16

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种低压扩散尾气收集装置，连接在石英反应管出气端，包括依次管路联通的压力监控模块、废液收集瓶、冷凝瓶、高精过滤器，高精过滤器出气端与真空泵连接，真空泵出气端与酸排连接；废液收集瓶为内部中空具有腔体的瓶体，瓶体内装填有孔状石英填料，瓶体对应孔状石英填料上方具有抽气口、下方具有进气口，进气口与压力监控模块出气端管路连通、抽气口与冷凝瓶进气口管路连通。本实用新型可对偏磷酸集中收集，尽量避免偏磷酸在尾排系统管路中结晶或造成堵塞，同时采用压力监控模块，可提高实时监控效果，增加尾排系统的稳定性，延长维护周期，提高设备开机率并延长尾排系统中相应附件的使用寿命。

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