硅片转移用组合机械手_专利查询-品牌网

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专利状态

硅片转移用组合机械手

有效

专利申请进度

申请

2018-04-20

申请公布

2018-09-21

授权

2020-07-24

预估到期

2038-04-20

专利基础信息

申请号	CN201810357893.3	申请日	2018-04-20
申请公布号	CN108565245A	申请公布日	2018-09-21
授权公布号	CN108565245B	授权公告日	2020-07-24
分类号	H01L21/683;H01L21/677
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2020-07-24

授权

状态信息

授权
2018-10-23

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683
2018-09-21

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及硅片转移技术领域，尤其是一种硅片转移用组合机械手，包括第一机械手、第二机械手及连接座；第一机械手包括第一悬臂及固定在第一悬臂上的第一承载板，第一承载板的外侧面固定有第一吸盘组；第二机械手包括第二悬臂及固定在第二悬臂上的第二承载板，第二承载板的外侧面固定有第二吸盘组；当第一电机带动第二悬臂转动至第二吸盘组与第一吸盘组齐平时，第一吸盘组中吸盘所吸附的硅片与第二吸盘组中吸盘所吸附的硅片构成一个沿第一承载板长度方向等间隔分布的硅片阵列，本发明的硅片转移用组合机械手通过第一机械手和第二机械手的相互配合极大提升了硅片在花篮与石英舟之间的转移效率，相对现有模式实现产能提升一倍。

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