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专利状态
一种旋转靶材的绑定密封结构
有效
专利申请进度
申请
2021-05-31
授权
2021-12-10
预估到期
2031-05-31
专利基础信息
申请号 CN202121203926.2 申请日 2021-05-31
授权公布号 CN215103501U 授权公告日 2021-12-10
分类号 C23C14/34
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2021-12-10
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种旋转靶材的绑定密封结构。密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片,间隙垫片粘接上下两个靶管的端面,两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带,还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在金属片外的紧固层,金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周。该旋转靶材的绑定密封结构对多节靶管之间的间隙进行密封处理,减少间隙内的氧含量,使得金属铟在绑定过程中不容易在空气中氧化,提升铟与靶材/背管的贴合率。两节靶管外壁的高温胶带外还粘接了导热金属片,然后才在金属片外设置紧固层,该金属片为绑定密封结构提供支撑,以免靶管受热变型导致密封失效,增强了密封性能。