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专利状态

一种靶材浇铸装置

有效

专利申请进度

申请

2021-06-30

授权

2022-11-29

预估到期

2031-06-30

专利基础信息

申请号	CN202121482786.7	申请日	2021-06-30
授权公布号	CN217912802U	授权公告日	2022-11-29
分类号	B22D27/04;B22D46/00;B22C9/22;C23C14/35
分类	铸造；粉末冶金;
申请人名称	广州市尤特新材料有限公司
申请人地址	广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

专利法律状态

2022-11-29

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种靶材浇铸装置。靶材浇铸装置包括圆柱状的背管、与背管同轴的且能套设在背管外周的中空管状的浇铸模具，以及能罩住背管和模具的控温装置，背管与浇铸模具之间的间隙用于注入靶材原料，还包括能在背管内往径向喷洒冷却液的喷淋装置。利用该靶材浇铸装置，其喷淋装置的冷却方法自下而上且自内而外地进行冷却，通过快速喷淋的方式实现快速冷却而又不会造成冷却不均。

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