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专利状态
一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2022-04-26
申请公布
2022-09-02
授权
2023-09-29
预估到期
2042-04-26
专利基础信息
申请号 CN202210445282.0 申请日 2022-04-26
申请公布号 CN114990500A 申请公布日 2022-09-02
授权公布号 CN114990500B 授权公告日 2023-09-29
分类号 C23C14/34;C22C14/00
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2023-09-29
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-09-20
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/34;申请日:20220426
  • 2022-09-02
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明属于靶材技术领域,本发明具体公开了一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法,所述的金黄色薄膜用靶材由以下重量份原料制备而成:0.08~0.3份金、0.15~0.35份铜、0.2~0.6份锡、0.5~1份镍、0.6~1.3份锌合金、90~98份钛。本发明所述的由钛为主的靶材,辅以金、铜、锡、镍、锌合金,在上述的重量份配比下,制备的靶材具有良好的耐磨性能,由其制备的薄膜呈现金黄色,本发明采取由铋粉氧化铈、氧化镧、钪粉、镁粉、铜粉、锌粉组成的锌合金能够显著提高靶材的耐磨性能,且不会影响到由其制备得到的薄膜的颜色。