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专利状态
一种绕线绑定式旋转靶材
有效
专利申请进度
申请
2021-04-30
授权
2021-12-10
预估到期
2031-04-30
专利基础信息
申请号
CN202120944400.3
申请日
2021-04-30
授权公布号
CN215103500U
授权公告日
2021-12-10
分类号
C23C14/34
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2021-12-10
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域,特别涉及一种绕线绑定式旋转靶材。该绕线绑定式旋转靶材包括在背管外壁缠绕金属线形成的绕线层,并且靶体套在背管以及金属线外,其填充在背管与靶材的间隙内的绑定材料能固定并连接背管、金属线和靶体这三者。绕线层使得背管与绑定材料之间具有缓冲层。背管外的绕线层在背管受热径向膨胀时箍住背管而减小其径向的热位移;冷却时背管轴向收缩,而金属线一方面也存在轴向收缩,另一方面金属线延展性好,从背管传递过来的轴向收缩的力能够被相邻的金属线圈在收缩挤压时部分抵消,避免背管轴向收缩的力全部由冷却后的绑定材料承受而导致背管与绑定材料的连接断裂,使得靶体和背管连接稳定、贴合率高。
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