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专利状态
旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质
有效
专利申请进度
申请
2021-05-31
申请公布
2021-07-27
授权
2023-10-03
预估到期
2041-05-31
专利基础信息
申请号 CN202110605651.3 申请日 2021-05-31
申请公布号 CN113174578A 申请公布日 2021-07-27
授权公布号 CN113174578B 授权公告日 2023-10-03
分类号 C23C14/35;B22D19/04
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2023-10-03
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-08-13
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/35;申请日:20210531
  • 2021-07-27
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质。加热装置设有内加热结构和外加热结构:内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量,在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温;外加热结构为多节环状加热罩,各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材,外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部,外加热结构与安装底座一起构成全密封结构,将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作,使得背管内外温度处于预设差值范围内,如此则待绑定的靶管内外温度保持一致,减少外管靶材崩裂的几率。