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专利状态
防开裂的旋转靶材总成
有效
专利申请进度
申请
2021-09-10
授权
2022-03-01
预估到期
2031-09-10
专利基础信息
申请号 CN202122201582.8 申请日 2021-09-10
授权公布号 CN215925061U 授权公告日 2022-03-01
分类号 C23C14/35
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2022-03-01
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及旋转靶材加工领域,具体涉及一种防开裂的旋转靶材总成。本实用新型提供一种防开裂的旋转靶材总成,包括背管和至少两段旋转靶材管,这些旋转靶材管轴向排列,套在背管外侧,随背管一同绕背管轴线旋转,旋转靶材管内径大于背管外径,相邻的两段旋转靶材管间隔有足够距离。该防开裂的旋转靶材总成,其旋转靶材管不容易开裂,旋转靶材总成使用寿命长,且无需为绑定工序耗费更多的时间,生产效率高。