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专利状态
防开裂的旋转靶材总成
有效
专利申请进度
申请
2021-09-10
授权
2022-03-01
预估到期
2031-09-10
专利基础信息
申请号
CN202122201582.8
申请日
2021-09-10
授权公布号
CN215925061U
授权公告日
2022-03-01
分类号
C23C14/35
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2022-03-01
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及旋转靶材加工领域,具体涉及一种防开裂的旋转靶材总成。本实用新型提供一种防开裂的旋转靶材总成,包括背管和至少两段旋转靶材管,这些旋转靶材管轴向排列,套在背管外侧,随背管一同绕背管轴线旋转,旋转靶材管内径大于背管外径,相邻的两段旋转靶材管间隔有足够距离。该防开裂的旋转靶材总成,其旋转靶材管不容易开裂,旋转靶材总成使用寿命长,且无需为绑定工序耗费更多的时间,生产效率高。
更多专利
1
一种旋转钛靶及其制备方法
2
LED金属基板用陶瓷浆料及LED金属基板的制备方法
3
一种热喷涂设备
4
用于旋转靶材的定位驱转工装和旋转靶材倒角装置
5
一种紫外光固化绝缘油墨及其制备方法
6
一种光伏反光膜用铝合金靶材及其制备方法
7
一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具
8
一种防变色陶瓷膜用靶材及其制备方法
9
一种用于旋转靶材的涨紧工装
10
背管制备方法、计算机可读存储介质及背管缩口装置
11
一种银合金溅射靶的制造方法
12
具有背管安装间隔结构的旋转靶材
13
一种香槟色薄膜用靶材及其制备方法
14
用于靶材加工的周转架
15
一种旋转氧化锆靶材及其制备方法
16
一种热喷涂旋转靶材设备工装
17
一种银黏土用银粉及包含该银粉的银黏土
18
定位工装和平面靶材的烧结方法
19
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20
靶材喷涂设备用除尘机构及靶材喷涂设备
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