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专利状态
防开裂的旋转靶材总成
有效
专利申请进度
申请
2021-09-10
授权
2022-03-01
预估到期
2031-09-10
专利基础信息
申请号
CN202122201582.8
申请日
2021-09-10
授权公布号
CN215925061U
授权公告日
2022-03-01
分类号
C23C14/35
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2022-03-01
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及旋转靶材加工领域,具体涉及一种防开裂的旋转靶材总成。本实用新型提供一种防开裂的旋转靶材总成,包括背管和至少两段旋转靶材管,这些旋转靶材管轴向排列,套在背管外侧,随背管一同绕背管轴线旋转,旋转靶材管内径大于背管外径,相邻的两段旋转靶材管间隔有足够距离。该防开裂的旋转靶材总成,其旋转靶材管不容易开裂,旋转靶材总成使用寿命长,且无需为绑定工序耗费更多的时间,生产效率高。
更多专利
1
一种热喷涂旋转靶材设备工装及其承重装置
2
旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质
3
弧面挡尘工装、应用该挡尘工装的旋转靶材热喷涂装置
4
一种绕线绑定式旋转靶材
5
一种工件定位工装
6
一种平面陶瓷靶材的成型模具
7
一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法
8
磁控溅射旋转靶
9
一种具有优异光电性能的碲化镉靶材的制备方法及碲化镉薄膜
10
一种平面靶材的成型装置
11
旋转靶材的绑定加热装置
12
一种陶瓷旋转靶材的等静压成型模具
13
一种通用型高性能水性玻璃陶瓷釉料及其制备方法
14
一种钛铝合金靶材及其制备方法
15
一种热喷涂用喷涂仓
16
棒料夹具
17
旋转靶材基管加工支撑中心架
18
一种LED玻璃支架
19
真空磁控溅射用旋转阴极靶
20
用于靶材加工的水冷管
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