一种新型碳化硅生长炉_专利查询-品牌网

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专利状态

一种新型碳化硅生长炉

有效

专利申请进度

申请

2022-04-01

授权

2023-01-24

预估到期

2032-04-01

专利基础信息

申请号	CN202220757529.8	申请日	2022-04-01
授权公布号	CN218372622U	授权公告日	2023-01-24
分类号	C30B29/36;C30B35/00
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	北京京运通科技股份有限公司
申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2023-01-24

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及生长炉技术领域，特别涉及一种新型碳化硅生长炉，包括：平台、回转机构、立柱、炉体组件、提升机构，所述立柱通过所述回转机构安装于所述平台，所述提升机构设置于所述立柱，所述炉体组件包括沿所述立柱轴线方向依次设置的炉盖、炉膛和炉底盘，所述炉盖与所述炉膛之间可拆卸，所述炉膛与所述炉底盘之间可拆卸，所述回转机构用于驱动所述炉体组件围绕所述立柱轴线的周向旋转，工作人员能够根据需求，将炉盖或炉膛进行提升，在回转系统的作用下，能够通过立柱带动炉盖或炉膛进行旋转，进而使其远离炉底盘，便于对炉底盘进行检修，上述检修的过程简单快捷。

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