一种扩散炉管的保养方法_专利查询-品牌网

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专利状态

一种扩散炉管的保养方法

有效

专利申请进度

申请

2018-06-15

申请公布

2018-11-02

授权

2021-01-22

预估到期

2038-06-15

专利基础信息

申请号	CN201810622901.2	申请日	2018-06-15
申请公布号	CN108728901A	申请公布日	2018-11-02
授权公布号	CN108728901B	授权公告日	2021-01-22
分类号	C30B31/10;C30B31/16
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2021-01-22

授权

状态信息

授权
2018-11-27

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C30B 31/10；专利申请号:2018106229012；申请日:20180615
2018-11-02

发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种扩散炉管的保养方法，包括：步骤一：扩散炉开机后对扩散炉内部进行梯度升温；步骤二：扩散炉关机前对扩散炉内部进行梯度降温；通过关闭炉门，将高温炉管与低温的车间隔开，防止湿气进入炉管，从源头阻隔磷酸的产生，减少腐蚀与堵塞，延长炉管使用寿命；通过增加采用梯度降温与梯度升温的方式减少炉门与炉管的变形，延长炉门与炉管的使用寿命；通过负压通气的方法升温降温，是为了将炉管内的气态杂志去除干净，保证炉管的气体清洁，防止污染。

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