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专利状态

镀氟清洗花篮

有效

专利申请进度

申请

2018-01-18

授权

2018-08-28

预估到期

2028-01-18

专利基础信息

申请号	CN201820087496.4	申请日	2018-01-18
授权公布号	CN207781563U	授权公告日	2018-08-28
分类号	H01L21/673;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-08-28

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种镀氟清洗花篮，在卡齿和横杆的外表面均设置镀氟涂层，氟含量越高，结晶化程度越大，耐蚀性当然更高，耐温亦更高，从而使得水分子能迅速褪去，大大增强了花篮的脱水性，节约了烘干时间，提高了生产效率；在原花篮的基础上，将原来菱形卡齿的两侧尖角变成平面，形成基底与横梁连接，顶点与基底的中心位于同一竖直线上，基底形状为：由两个下底重合的等腰梯形所围成的形状的锥体，增大了两个卡齿之间的距离，使硅片卡设在相邻两个卡齿之间时，硅片与两侧的卡齿之间还留有空隙，降低卡齿与硅片表面的接触，使得在制绒过程中，硅片在与花篮的接触部分可以更完全的反应，降低了花篮印。

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