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专利状态
氮化硅腔用一体式特气管路
有效
专利申请进度
申请
2017-05-18
授权
2017-12-05
预估到期
2027-05-18
专利基础信息
申请号
CN201720559656.6
申请日
2017-05-18
授权公布号
CN206706204U
授权公告日
2017-12-05
分类号
C23C16/455;C23C16/34
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址
江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号
专利法律状态
2017-12-05
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供了一种氮化硅腔用一体式特气管路,包括防尘罩,所述防尘罩为U型槽,U型槽端部两侧分别向外具有外延板,所述外延板下表面固定有特气管道,所述特气管道与外部供气管路连通。本实用新型在外延板和U型槽底部固定有特气管道,供气管路内的特殊气体可直接通过特气管道传送供气,防尘罩与特气管道成一体结构,固定稳定不易发生偏移或变形,可有效延长特气管路的使用寿命,减少维护,保持镀膜工艺的长期稳定。
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