一种ALD机台载板自动清洁装置

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专利状态

一种ALD机台载板自动清洁装置

有效

专利申请进度

申请

2017-09-21

授权

2018-05-08

预估到期

2027-09-21

专利基础信息

申请号	CN201721221125.2	申请日	2017-09-21
授权公布号	CN207325394U	授权公告日	2018-05-08
分类号	B08B1/02
分类	清洁;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-05-08

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种ALD机台载板自动清洁装置，安装于ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域，ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域具有机台框架，载板位于机台框架下，包括螺纹连接在机台框架载板进入一侧的条刷，机台框架位于载板进腔一侧两端分别对称开有固定螺孔，条刷上对应固定螺孔处分别开有一个待机孔和至少三个在垂直于载板方向上高度不同的微调螺孔；在垂直于载板方向上，待机孔高度低于所有微调螺孔；条刷通过螺栓插入待机孔或微调螺孔后并与固定螺孔锁紧而固定与机台框架上。本实用新型通过待机孔、微调螺孔与固定螺孔的配合，可在无需人力的情况下，高效清理载板上的碎片及掉渣，有效减少机台停机时间，增加产能并节约人力成本。

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