首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置
有效
专利申请进度
申请
2019-04-02
授权
2019-11-19
预估到期
2029-04-02
专利基础信息
申请号
CN201920436266.9
申请日
2019-04-02
授权公布号
CN209652423U
授权公告日
2019-11-19
分类号
C23C16/458;H01L31/18
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址
江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
2019-11-19
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供了一种管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置,缓冲区对应石墨舟上方固定有支架,拍舟装置包括至少两组连接在支架上的拍打机构;拍打机构包括拍打气缸,拍打气缸的活塞杆向下伸出并指向石墨舟上端面,拍打气缸的活塞杆下端面上固定有附件加工件,附件加工件的下端面上固定有硅胶缓冲垫;拍打气缸的外壳上还固定有气缸缓冲器,拍打气缸的外壳上具有气缸挡块,气缸挡块与气缸缓冲器之间距离为活塞杆运动的最大行程;拍打气缸的外壳上还固定有上限位块。本实用新型提供的管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置,结构设计合理,采用机械替代人工,减少人工损耗,提高工艺效率,同时减少工艺硅片污染,减少硅片破片率并可有效提高硅片良品率。
更多专利
1
硅片去水膜设备
2
一种光伏组件环境测试用绝热支架
3
光伏幕墙走线结构
4
硅片移栽盒
5
用于黑硅制备工艺中的扩孔槽
6
光伏组件边框测试装置
7
PL设备下碎片清理装置
8
硅片慢提拉清洗槽
9
自动在线式称量印刷湿重和烘干失重的设备
10
电池片抗压弯测试装置
11
一种扩散炉管的保养方法
12
一种光伏组件撕胶带机构
13
一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟
14
一种自动补液系统
15
一种应用在检修井光伏系统上的组件结构
16
光伏电池生产用蜂窝状滚轮
17
集成式太阳能电池片印刷装置
18
一种花篮装置
19
硅片槽式设备所用机械臂挂钩
20
燃烧塔燃烧室
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部