一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构

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专利状态

一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构

有效

专利申请进度

申请

2022-09-19

授权

2023-01-31

预估到期

2032-09-19

专利基础信息

申请号	CN202222477842.9	申请日	2022-09-19
授权公布号	CN218414511U	授权公告日	2023-01-31
分类号	H01L21/673;H01L31/18;C23C16/50
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2023-01-31

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构，所述石墨舟包括两侧的外舟片、间隔设在两个外舟片之间的若干内舟片以及分别设在外舟片下侧两端的舟脚石墨块，所述的舟脚石墨块下方设有石墨电极，相邻内舟片之间形成放置电池片的插槽，所述的石墨电极的上平面具有凸起，舟脚石墨块底面具有与所述凸起相配合的凹腔，凸起表面与凹腔内壁贴合形成导电接触面。实用新型通过将石墨电极与舟脚石墨块之间的导电接触面改变为半圆弧结构，不仅可增加石墨舟和石墨电极之间的接触面积，使电流更加稳定，还可有效防止因电池片碎片掉落在石墨电极上，导致的石墨舟与石墨电极接触不良，从而减少电池片的色差返工片以及el不良片。

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