提高舟内方阻均匀性的石英舟

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专利状态

提高舟内方阻均匀性的石英舟

有效

专利申请进度

申请

2017-10-20

授权

2018-05-08

预估到期

2027-10-20

专利基础信息

申请号	CN201721364853.9	申请日	2017-10-20
授权公布号	CN207338337U	授权公告日	2018-05-08
分类号	H01L21/673;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-05-08

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种提高舟内方阻均匀性的石英舟，通过在石英舟上新增与硅片大小、厚度均相等的石英固定隔板，有效解决了石英舟本身结构带来的边缘片扩散后方阻异常现象；通过新增可活动的，大小、厚度与硅片大小、厚度均相等的石英活动隔板，灵活有效解决因应力片、导片机掉片等异常导致不固定位置的新增边缘片扩散后方阻异常现象。

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