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专利状态

自动测方阻设备

有效

专利申请进度

申请

2017-10-23

授权

2018-06-19

预估到期

2027-10-23

专利基础信息

申请号	CN201721373722.7	申请日	2017-10-23
授权公布号	CN207517646U	授权公告日	2018-06-19
分类号	H01L21/66
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-06-19

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种自动测方阻设备，通过控制部分控制上料区将装满硅片的花篮输送至下片区，下片区将花篮内的硅片逐一卸下并输送至第一缓存区，第一缓存区将硅片输送至校正区，校正区将硅片校正后输送至测试区进行方阻测试，通过方阻测试完成的硅片被输送至第二缓存区，通过控制部分控制，跟设定标准对比后通过分片区分片后，将超过设定标准上限和超过设定标准下限的硅片分出，仅将方阻测试结果在正常范围内的硅片输送至上片区，并通过上片区将硅片放置在花篮上，最终将装满硅片的花篮通过下料区输送出去；有效避免了人工取片与测片带来的污染、破片与划伤的问题；自动化测试硅片方阻，大大提高了测试效率，可完成批量检测。

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