碳化硅浆位调整检具_专利查询-品牌网

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专利状态

碳化硅浆位调整检具

有效

专利申请进度

申请

2017-05-19

授权

2017-12-29

预估到期

2027-05-19

专利基础信息

申请号	CN201720567833.5	申请日	2017-05-19
授权公布号	CN206819972U	授权公告日	2017-12-29
分类号	H01L21/66;H01L21/68;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2017-12-29

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种碳化硅桨位调整检具，在使用时，在碳化硅浆的两端均卡设本实用新型的检具，第一卡板上的凸起与碳化硅浆的内腔重合，第二卡板上的第一开口与碳化硅浆的外表面重合，第一卡板和第二卡板卡和后呈圆柱形，石英炉管的横截面形状也为圆形，当卡设有本实用新型检具的碳化硅浆进入石英炉管后，对相应碳化硅浆位或炉管位进行调整，确保本实用新型的检具的外圆周面与炉管的内圆周面之间的间距均匀后，碳化硅浆调试完成，本实用新型的检具调试简单，提升了调试效率，提高了调试精度，减小了调试误差，避免因调试误差导致的异常损失，为各炉管之间提供了统一的判定依据，避免了各炉管之间的调试差异，方便定期维护时进行检测。

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