一种便于干花蓝检测的装置

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专利状态

一种便于干花蓝检测的装置

有效

专利申请进度

申请

2022-08-17

授权

2022-12-16

预估到期

2032-08-17

专利基础信息

申请号	CN202222174638.X	申请日	2022-08-17
授权公布号	CN218066316U	授权公告日	2022-12-16
分类号	G01B11/00;H01L21/673
分类	测量；测试;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2022-12-16

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种便于干花蓝检测的装置，用于对干花篮进行检测，干花篮上具有若干用于放置硅片的槽体，包括金属基座，金属基座两端设有固定板，金属基座与固定板之间构成置入空间，该置入空间与干花篮外形适配，且干花篮底部与金属基座上表面适配；两端固定板中任意一端的固定板上开有若干通孔，通孔外侧分别具有镭射灯，通孔位置与干花篮上的槽体端部位置对应设置，镭射灯射入方向则与槽体延伸方向平行。本实用新型结构设计合理，通过金属基座和镭射灯点位的设计，可对干花篮进行槽体检测，检测标准一致无偏差，检测过程方便快捷，检测周期短，在有效减少人工成本的同时，有效减少干花篮不良而导致的硅片EL不良，提高生产效率和良品率。

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