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专利状态

MEMS麦克风

有效

专利申请进度

申请

2019-12-31

授权

2020-09-22

预估到期

2029-12-31

专利基础信息

申请号	CN201922501632.7	申请日	2019-12-31
授权公布号	CN211557483U	授权公告日	2020-09-22
分类号	H04R19/00;H04R19/04
分类	电通信技术;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2020-09-22

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括：衬底；位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板结构，所述膜片与所述背极板结构之间彼此间隔，所述膜片的第一表面与所述背极板结构的第一表面彼此相对；以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，其中，所述膜片的第一表面设置有与所述背极板结构连接的第一连接部。本申请将膜片通过表面的第一连接部悬挂于背极板结构，极大的释放了膜片的应力，提高了膜片机械响应的灵敏度。

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