超声波指纹传感器及其制造方法

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

超声波指纹传感器及其制造方法

有效

专利申请进度

申请

2017-04-14

申请公布

2017-09-15

授权

2023-07-25

预估到期

2037-04-14

专利基础信息

申请号	CN201710246018.3	申请日	2017-04-14
申请公布号	CN107169416A	申请公布日	2017-09-15
授权公布号	CN107169416B	授权公告日	2023-07-25
分类号	G06V40/13;H10N39/00;H01L21/82
分类	计算；推算；计数;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2023-07-25

授权

状态信息

授权
2017-10-17

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G06K9/00；申请日:20170414
2017-09-15

公布

状态信息

公布

摘要

本申请公开了一种超声波指纹传感器及其制造方法。该方法包括：形成超声波换能器，包括第一衬底、位于所述第一衬底上的机械支撑层、以及位于所述机械支撑层上的压电叠层；形成CMOS电路，包括第二衬底、在所述第二衬底中形成的至少一个晶体管、以及位于所述至少一个晶体管上的多个布线层和多个层间介质层；将所述超声波换能器和所述CMOS电路彼此连接；以及在所述超声波换能器中形成超声波波导结构，其中，所述机械支撑层为外延多晶层。该方法利用外延多晶生长的机械支撑层减小应力对超声波换能器的性能影响，从而提高频率稳定性和成品率。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信