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专利状态

MEMS扫描仪

有效

专利申请进度

申请

2022-11-10

授权

2023-04-25

预估到期

2032-11-10

专利基础信息

申请号	CN202222991110.1	申请日	2022-11-10
授权公布号	CN218917796U	授权公告日	2023-04-25
分类号	G02B26/08
分类	光学;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2023-04-25

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开了一种MEMS扫描仪。该MEMS扫描仪包括：第一框架；反射镜，位于第一框架的中间区域，反射镜通过第一扭转梁与第一框架相连；其中，第一扭转梁包括第一横梁和与第一横梁相连的至少一个第一纵梁，第一纵梁与第一横梁相垂直，第一纵梁沿第一横梁的垂直平分线对称设置。通过在横梁下增加与其垂直的纵梁且纵梁沿横梁的垂直平分线对称设置，提高干扰模态的本征频率，实现工作模态与干扰模态的分离，进而提高了MEMS扫描仪的稳定性和可靠性。

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