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专利状态
用于靶材加工的水冷管
有效
专利申请进度
申请
2015-11-27
授权
2016-04-27
预估到期
2025-11-27
专利基础信息
申请号
CN201520969665.3
申请日
2015-11-27
授权公布号
CN205183102U
授权公告日
2016-04-27
分类号
B05D3/00
分类
一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2016-04-27
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开了用于靶材加工的水冷管,其包括与靶材基管接触的柱状管本体,所述管本体的两端分别连接有第一安装管和第二安装管,所述第一安装管和第二安装管内部分别设置有第一水道和第二水道,所述管本体内部设置有水冷道,所述水冷道贯穿管本体的两个端面,所述水冷道的两端分别和第一水道和第二水道连通。通过将需要热喷涂的靶材基管套在管本体上,再装于喷涂架上,第一安装管和第二安装管分别接上循环冷却水,通过冷却水迅速带走靶材制程中高能高温等离子粒子流的热量,避免热量带来的负面影响。本实用新型适用于靶材加工的水冷中。
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