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专利状态
氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材
有效
专利申请进度
申请
2020-07-31
申请公布
2022-02-18
授权
2022-08-26
预估到期
2040-07-31
专利基础信息
申请号
CN202010755989.2
申请日
2020-07-31
申请公布号
CN114057481A
申请公布日
2022-02-18
授权公布号
CN114057481B
授权公告日
2022-08-26
分类号
C23C14/34;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626
分类
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2022-08-26
授权
状态信息
授权
2022-02-18
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供了一种氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材,其中,氧化锌靶材制备方法包括:将氧化锌基材和掺杂材料通过球磨研磨,获取一段研磨浆料;对一段研磨浆料进行砂磨研磨,获取二段研磨浆料;对二段研磨浆料进行造粒,获取粒料;对粒料进行冷等静压,获取素坯;对素坯进行烧结,冷却后获取氧化锌靶材。本发明通过球磨研磨和砂磨研磨的组合使用,使得氧化锌基材和掺杂材料能够充分混合,同时进一步降低氧化锌基材和掺杂材料的粒径,通过降低氧化锌基材和掺杂材料的粒径,使得氧化锌颗粒之间、掺杂材料颗粒之间及氧化锌颗粒与掺杂材料颗粒之间的空隙减少,进而提高氧化锌靶材的致密度。
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一种提高碲化镉薄膜电子性能的掺杂方法
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