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专利状态
一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法
有效
专利申请进度
申请
2016-04-11
申请公布
2016-06-15
授权
2019-06-14
预估到期
2036-04-11
专利基础信息
申请号 CN201610220120.1 申请日 2016-04-11
申请公布号 CN105671501A 申请公布日 2016-06-15
授权公布号 CN105671501B 授权公告日 2019-06-14
分类号 C23C14/34;C23C24/04;C23C4/12
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2020-04-14
    专利权质押合同登记的生效、变更及注销
    状态信息
    专利权质押合同登记的生效IPC(主分类):C23C14/34登记号:Y2020980000908登记生效日:20200320出质人:广州市尤特新材料有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司广州市绿色金融改革创新试验区花都分行发明名称:一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法授权公告日:20190614
  • 2019-06-14
    授权
    状态信息
    授权
  • 2016-07-13
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20160411
  • 2016-06-15
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明公开了一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法,用于解决废旧旋转靶材回收、修复和再喷涂的技术问题,包括以下步骤:废旧旋转靶材的包装回收;旋转靶材的缺陷检查;旋转靶材的缺陷加工;确定旋转靶材余量;根据确定的旋转靶材余量进行喷涂修复。本发明的有益效果在于,回收废旧旋转靶材重新修复,省略了基管加工、喷砂、喷中间层等前期工序,节约了成本,实现了靶材循环使用;解决了缺陷靶材的修复难题,不必整管报废,提高了生产效率。