首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备
有效
专利申请进度
申请
2021-05-31
授权
2021-12-07
预估到期
2031-05-31
专利基础信息
申请号
CN202121204110.1
申请日
2021-05-31
授权公布号
CN215050656U
授权公告日
2021-12-07
分类号
C23C14/35;B22D19/04
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2021-12-07
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备。旋转靶材绑定设备包括震动敲击装置,震动敲击装置包括固定环、以绕固定环一圈的方式安装在固定环上多条金属片,以及用于安装固定环的震动器,震动器震动则带动固定环以及安装在固定环上的全部金属片一起震动。该具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备自下而上地注入铟液,且在注入铟液前先将震动敲击装置的金属片伸入背管与靶管之间的间隙,驱动金属片震动以敲击背管外表面和/或靶管内表面,利用敲击带动背管和靶管震动,除去两者上的氧化铟层或其他氧化物,提升铟与靶材/背管的贴合率。
更多专利
1
一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备
2
热喷涂旋转靶材设备工装及其冷却装置
3
靶材喷涂设备用沉降分离器及靶材喷涂设备
4
一种适用于管状旋转陶瓷靶材的承烧板
5
一种电磁锅用导磁涂层及其制备方法
6
棒料夹具
7
一种旋转靶材的冷等静压成型模具
8
一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法
9
一种用于烧结管状旋转陶瓷靶材的承烧板
10
一种双头工件的加工夹具
11
一种防变色陶瓷膜用靶材及其制备方法
12
一种银黏土用银粉及包含该银粉的银黏土
13
一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法
14
一种香槟色薄膜用靶材及其制备方法
15
氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材
16
一种烧结型高发热浆料及其制备方法
17
一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法
18
一种玻璃用耐高温胶粘剂及其制备方法
19
一种应用于太阳能电池的陶瓷靶材及其制备方法
20
一种热喷涂设备
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部