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专利状态
一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备
有效
专利申请进度
申请
2021-05-31
授权
2021-12-07
预估到期
2031-05-31
专利基础信息
申请号 CN202121204110.1 申请日 2021-05-31
授权公布号 CN215050656U 授权公告日 2021-12-07
分类号 C23C14/35;B22D19/04
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2021-12-07
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备。旋转靶材绑定设备包括震动敲击装置,震动敲击装置包括固定环、以绕固定环一圈的方式安装在固定环上多条金属片,以及用于安装固定环的震动器,震动器震动则带动固定环以及安装在固定环上的全部金属片一起震动。该具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备自下而上地注入铟液,且在注入铟液前先将震动敲击装置的金属片伸入背管与靶管之间的间隙,驱动金属片震动以敲击背管外表面和/或靶管内表面,利用敲击带动背管和靶管震动,除去两者上的氧化铟层或其他氧化物,提升铟与靶材/背管的贴合率。