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专利状态
一种香槟色薄膜用靶材及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2023-02-17
申请公布
2023-03-28
授权
2023-06-02
预估到期
2043-02-17
专利基础信息
申请号 CN202310125792.4 申请日 2023-02-17
申请公布号 CN115852327A 申请公布日 2023-03-28
授权公布号 CN115852327B 授权公告日 2023-06-02
分类号 C23C14/35;C22C5/02;C22C1/06;C22C1/04;C22F1/14;B22F1/14;B22F1/142
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2023-06-02
    授权
    状态信息
    授权
  • 2023-04-14
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/35;申请日:20230217
  • 2023-03-28
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种香槟色薄膜用靶材,包括以下重量百分比原料:Ag 1.2‑1.6%、Al 0.1‑0.6%、Fe 0.2‑0.5%、In 0.2‑0.4%、淬火改性剂0.1‑0.3%、钛粉细化剂0.1‑0.2%、余量为Au。本发明由一种金为主要材料的靶材,主要应用于真空炉内镀膜手表、手机壳、首饰及装饰产品领域;采用本发明的香槟色金靶材应用于真空磁控溅射镀膜技术中,由其制备的薄膜色泽光亮柔和,膜层表面硬度高、耐磨性好且具有及佳的抗氧化性能。