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专利状态
一种适用于管状旋转陶瓷靶材的承烧板
有效
专利申请进度
申请
2019-12-30
授权
2020-08-14
预估到期
2029-12-30
专利基础信息
申请号
CN201922493238.3
申请日
2019-12-30
授权公布号
CN211261798U
授权公告日
2020-08-14
分类号
F27D5/00
分类
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2020-08-14
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开了一种适用于管状旋转陶瓷靶材的承烧板。所述承烧板的上部设有内凹的圆锥斜面,所述圆锥斜面与水平面的倾斜角为15°‑60°,所述圆锥斜面的表面粗糙度为3.2‑16μm。本实用新型的承烧板能够促进靶材的充分烧结,可极大的降低靶材生坯在烧结时因收缩导致与承烧板的摩擦力,有利于靶材致密化及防止靶材产生变形、开裂等缺陷,极大的提高了靶材的良率及取材率。
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靶材喷涂设备用沉降分离器及靶材喷涂设备
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