首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
真空磁控溅射用旋转阴极靶
失效
专利申请进度
申请
2013-05-29
授权
2013-12-04
预估到期
2023-05-29
专利基础信息
申请号
CN201320302774.0
申请日
2013-05-29
授权公布号
CN203320120U
授权公告日
2013-12-04
分类号
C23C14/35
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨工业园
专利法律状态
2023-06-16
专利权的终止
状态信息
专利权有效期届满;IPC(主分类):C23C14/35;申请日:20130529;授权公告日:20131204
2013-12-04
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空磁控溅射用旋转阴极靶,包括管状的衬管和套设在衬管外壁上并随衬管旋转的靶材,所述衬管外壁上设有外螺纹,所述靶材内壁设有与外螺纹配合连接的内螺纹。本实用新型衬管外壁设有外螺纹,靶材内壁设有内螺纹,两者通过螺纹连接后,使得靶材的安装非常方便,而且当靶材将要耗竭而无法继续使用时,亦容易从衬管中分离以回收利用,未使用的靶材也就能旋入衬管中使用,使得衬管可以重复利用,大大节省了材料的损耗,节省了成本。本实用新型可应用于真空磁控溅射。
更多专利
1
一种LED玻璃灯结构
2
一种LED光源
3
LED灯
4
一种陶瓷旋转靶材的等静压成型模具
5
棒料夹具
6
LED-UV光疗胶免擦洗封层胶及其制备方法
7
一种用于烧结管状旋转陶瓷靶材的承烧板
8
一种电磁锅用导磁涂层及其制备方法
9
一种热喷涂设备
10
一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法
11
一种烧结型高发热浆料及其制备方法
12
一种电控变色玻璃用钨合金靶材及其制备方法
13
一种靶材生坯摆放用布粉器
14
一种紫外光固化的通用型金属油墨及其制备方法
15
具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置
16
定位工装和平面靶材的烧结方法
17
旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质
18
真空磁控溅射用旋转阴极靶
19
一种电控变色玻璃用金属靶材及其制备方法
20
一种银合金溅射靶的制造方法
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部