• 热门行业
  • 装修建材
  • 家居生活
  • 餐饮食品
  • 母婴教育
  • 电脑办公
  • 服装首饰
  • 汽车工具
  • 家电数码
  • 机械化工
  • 休闲美容
返回上一页
专利状态
一种旋转氧化锆靶材及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2022-07-28
申请公布
2022-09-02
授权
2022-10-18
预估到期
2042-07-28
专利基础信息
申请号 CN202210897437.4 申请日 2022-07-28
申请公布号 CN114990486A 申请公布日 2022-09-02
授权公布号 CN114990486B 授权公告日 2022-10-18
分类号 C23C14/08;C23C14/35
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2022-10-18
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-09-02
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明涉及氧化锆靶材技术领域,具体公开了一种旋转氧化锆靶材,包括以下重量份原料:氧化锆粉20‑30份、改性碳纳米管协配剂10‑15份、稀土调配剂6‑10份、硅灰石改性处理液35‑45份。本发明硅灰石的针状结构具有填补效果,协配金属铌,不仅增强产品的密度性能,同时也改善了产品的导电性,通过改性碳纳米管协配剂、稀土调配剂和硅灰石改性处理液之间的协配,共同增强产品之间的密度、导电性,以及导电稳定性。