一种搬运装置及涂胶搬运设备

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专利状态

一种搬运装置及涂胶搬运设备

有效

专利申请进度

申请

2022-10-11

授权

2023-05-02

预估到期

2032-10-11

专利基础信息

申请号	CN202222674867.8	申请日	2022-10-11
授权公布号	CN218957753U	授权公告日	2023-05-02
分类号	H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67;B05C1/02;B05C13/02;B05C9/14;B05D3/04
分类	基本电气元件;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-05-02

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开一种搬运装置及涂胶搬运设备，涉及硅片生产加工技术领域，用于对待搬运基板实现无接触的搬运。搬运装置包括气浮传输平台和非接触式吸盘，气浮传输平台用于向上喷出气流，通过气流使待搬运基板悬浮于气浮传输平台的上方；非接触式吸盘设置在气浮传输平台的上方，非接触式吸盘用于非接触地吸附待搬运基板的上表面，带动待搬运基板沿气浮传输平台的长度方向移动。

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