一种单晶硅拉晶工艺方法_专利查询-品牌网

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

一种单晶硅拉晶工艺方法

有效

专利申请进度

申请

2021-08-25

申请公布

2021-11-16

授权

2023-01-13

预估到期

2041-08-25

专利基础信息

申请号	CN202110984273.4	申请日	2021-08-25
申请公布号	CN113652737A	申请公布日	2021-11-16
授权公布号	CN113652737B	授权公告日	2023-01-13
分类号	C30B15/20;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-01-13

授权

状态信息

授权
2021-12-03

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C30B15/20；申请日:20210825
2021-11-16

公布

状态信息

公布

摘要

本申请提供一种掺有挥发性掺杂剂单晶硅拉晶工艺方法，所述拉晶工艺方法包括在晶体生长的等径阶段单晶炉采用不超过18Torr的低炉压，单晶炉炉内通入氩气流量保持在恒定范围内。本申请实现在较低炉压下进行等径拉晶。通过本申请的工艺方法，可以降低掺有挥发性掺杂剂，尤其是镓的单晶的轴向电阻率衰减斜率，提高其电阻率有效长度。

更多专利

客服微信号
商务合作微信

服务热线：400-832-5988

商务QQ：85926368

关注公众号
访问小程序

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信