一种湿膜基板输送装置及基板涂胶输送系统

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专利状态

一种湿膜基板输送装置及基板涂胶输送系统

有效

专利申请进度

申请

2022-10-11

授权

2023-05-02

预估到期

2032-10-11

专利基础信息

申请号	CN202222674870.X	申请日	2022-10-11
授权公布号	CN218950161U	授权公告日	2023-05-02
分类号	B65G15/00;G03F7/16;G03F7/20
分类	输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-05-02

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开一种湿膜基板输送装置及基板涂胶输送系统，涉及硅片生产加工技术领域，用于减少湿膜基板的湿膜损伤。包括：基板传输机构，用于支撑湿膜基板的下表面的两侧边缘并输送；预固化单元，包括热固化单元和/或光固化单元；热固化单元位于基板传输机构的输送路径上或位于上料位置处，用于对湿膜基板至少两侧边缘上的湿膜进行预固化；光固化单元位于上料位置处，用于在湿膜基板输送至基板传输机构之前以及输送至上料位置上时，对湿膜基板的两侧边缘上的湿膜进行预固化。预固化单元时将湿膜基板的至少位于两侧边缘上的湿膜预固化，使得在后续输送过程中不易发生湿膜损伤，或对损伤湿膜部分修复。基板涂胶输送系统包含该湿膜基板输送装置。

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