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专利状态

光伏电池成膜设备

有效

专利申请进度

申请

2023-01-29

授权

2023-06-06

预估到期

2033-01-29

专利基础信息

申请号	CN202320121199.8	申请日	2023-01-29
授权公布号	CN219144138U	授权公告日	2023-06-06
分类号	H01L21/673;H01L31/18;C23C16/458
分类	基本电气元件;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-06-06

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开了一种光伏电池成膜设备，包括成膜载板，成膜载板包括：载板本体，以及设置于载板本体的多个用于承载硅片的承载单元；每个承载单元包括：第一承载台、第二承载台和限位柱；第一承载台设置于载板本体，第一承载台的中间设有凹槽，第一承载台用于与硅片的边缘接触以承载硅片；第二承载台环绕设于第一承载台远离凹槽的一侧，沿凹槽的槽底到槽口的方向，第二承载台高出第一承载台预定高度；第二承载台上远离载板本体的一端间隔设有多个限位柱。通过第二承载台对硅片的边缘形成遮挡，可以有效避免硅片边缘绕度问题，通过间隔设置的限位柱，既能实现对硅片的限位作用，又便于硅片正面边缘部位均匀成膜，能够提高硅片正面成膜的均匀性。

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