MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置

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专利状态

MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置

有效

专利申请进度

申请

2017-11-02

授权

2018-05-08

预估到期

2027-11-02

专利基础信息

申请号	CN201721448265.3	申请日	2017-11-02
授权公布号	CN207338413U	授权公告日	2018-05-08
分类号	H01L31/18;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-05-08

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，本实用新型的MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，无需人工进行清理，高效方便。无需开起腔体就能对进出料腔进行吸尘，节省时间，不会引起扬尘导致生产环境的污染，减少对人体的危害。可定时清理进出料腔体内部环境，减少粉尘对硅片表面的污染，改善良率。

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