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专利状态
管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置
有效
专利申请进度
申请
2016-06-27
申请公布
2016-09-21
授权
2018-09-07
预估到期
2036-06-27
专利基础信息
申请号 CN201610481307.7 申请日 2016-06-27
申请公布号 CN105951060A 申请公布日 2016-09-21
授权公布号 CN105951060B 授权公告日 2018-09-07
分类号 C23C16/458;H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
  • 2018-09-07
    授权
    状态信息
    授权
  • 2016-10-19
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/458申请日:20160627
  • 2016-09-21
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置,包括石墨舟输送装置、工艺点推出装置和工艺点收纳装置,工艺点推出装置设置在石墨舟输送装置的正上方,工艺点收纳装置可拆卸安装在石墨舟输送装置的正下方。本发明包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置,在石墨舟固定夹具上安装固定好装有工艺点的石墨舟后,使用移动装置将固定好的石墨舟移动到导向板的正下方,导向板通过升降装置下移到与石墨舟上工艺点的上表面接触,最后通过工艺点推出装置将工艺点推出石墨舟的工艺孔,全部工序均通过机器自动完成,节省了人力,提高了拆卸效率,提高了劳动生产率。