制绒后硅片清洗检测装置_专利查询-品牌网

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专利状态

制绒后硅片清洗检测装置

有效

专利申请进度

申请

2018-01-18

授权

2018-08-28

预估到期

2028-01-18

专利基础信息

申请号	CN201820087447.0	申请日	2018-01-18
授权公布号	CN207781552U	授权公告日	2018-08-28
分类号	H01L21/67;H01L21/02;H01L21/66
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-08-28

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及硅片制绒工艺处理技术领域，尤其是一种制绒后硅片清洗检测装置，包括PLC控制器、电阻率测试仪、报警器及装有纯水的慢提拉槽体，慢提拉槽体的上端具有溢流口，慢提拉槽体的溢流口处连通有溢流管，电阻率测试仪用于检测溢流管中液体的电阻率，PLC控制器分别与电阻率测试仪及报警器信号连接，本实用新型通过将硅片放入到装有纯水的慢提拉槽体中，然后巧妙的利用电阻率测试仪检测慢提提拉槽体中所溢流出的液体的电阻率是否发生变化，从而获知硅片是否清洗干净，确保制绒后的硅片经水洗、酸洗及再次水洗其表面不在残留化学药液，有效的避免了后续制绒后的硅片被污染的问题及对后续工艺造成影响，进而提高太阳能电池的转换效率。

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