提升PERC背钝化效果的电池制备方法

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专利状态

提升PERC背钝化效果的电池制备方法

有效

专利申请进度

申请

2017-06-15

申请公布

2017-09-29

授权

2018-10-12

预估到期

2037-06-15

专利基础信息

申请号	CN201710451290.5	申请日	2017-06-15
申请公布号	CN107221580A	申请公布日	2017-09-29
授权公布号	CN107221580B	授权公告日	2018-10-12
分类号	H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-10-12

授权

状态信息

授权
2017-10-31

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L31/18；申请日:20170615
2017-09-29

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供一种提升PERC背钝化效果的电池制备方法，包括清洗、扩散、洗磷、热氧化、背钝化、正面镀膜、激光刻槽和丝网印刷。本发明提供的一种提升PERC背钝化效果的电池制备方法，在洗磷后经热氧化解决洗磷后存在的杂质等，并且热氧化过程中硅片表面易生成一层薄薄的SiOx层，这层SiOx层可以提高MAIA的背钝化效果，增加氧化铝的致密性，改善了EL等良率问题，从而提升MAIA的背钝化效率。

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