扩散炉用石英炉管_专利查询-品牌网

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专利状态

扩散炉用石英炉管

有效

专利申请进度

申请

2017-05-19

授权

2017-12-12

预估到期

2027-05-19

专利基础信息

申请号	CN201720567769.0	申请日	2017-05-19
授权公布号	CN206736407U	授权公告日	2017-12-12
分类号	C30B31/10;C30B31/16
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2017-12-12

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种扩散炉用石英炉管，在炉门与炉口之间采用双层密封结构，气体不容易从炉口处泄露，提升了密封效果，减少了反应室内气体扰动，减少了炉口热量损失；炉门上设置底面呈球面的导流槽，进气管穿过管体内部，在炉口处与炉门相对设置，当气体从进气管进入管体后，气体从进气管内喷出，直接喷向导流槽的底面，导流槽的底面为球面，喷向导流槽的气体经过导流槽底面的反弹后充满整个管体，并向炉尾流动，最终从炉尾中间的尾气管排出，掺杂原子在反应室内分布更均匀，各温区之间可以通过较小的温度差异得到均匀的方阻，提升了方阻的稳定性与均匀性，使常压扩散炉也能满足高方阻生产需求。

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