一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法

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专利状态

一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法

有效

专利申请进度

申请

2017-02-27

申请公布

2017-05-10

授权

2018-06-29

预估到期

2037-02-27

专利基础信息

申请号	CN201710107405.9	申请日	2017-02-27
申请公布号	CN106653953A	申请公布日	2017-05-10
授权公布号	CN106653953B	授权公告日	2018-06-29
分类号	H01L31/18;H01L31/0216
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-06-29

授权

状态信息

授权
2017-06-06

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L31/18；申请日:20170227
2017-05-10

公布

状态信息

公布

摘要

本发明属于新能源领域，具体涉及一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法。将偏硅酸、虫胶、稀释剂混合而成的粘稠状胶液均匀涂刷在扩散后的硅片表面并烘干，再将该硅片于高温的惰性气体环境中放置一段时间后，即完成硅片表面的钝化。虫胶在自身受热分解的过程中促进了偏硅酸分解所得的二氧化硅与硅片基底的相容程度，防止所生成的二氧化硅脱落，提高了钝化层的结合力和稳定性。

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