• 热门行业
  • 装修建材
  • 家居生活
  • 餐饮食品
  • 母婴教育
  • 电脑办公
  • 服装首饰
  • 汽车工具
  • 家电数码
  • 机械化工
  • 休闲美容
返回上一页
专利状态
蚀刻装置及蚀刻工艺
有效
专利申请进度
申请
2012-11-14
申请公布
2013-02-06
授权
2016-01-13
预估到期
2032-11-14
专利基础信息
申请号 CN201210460259.5 申请日 2012-11-14
申请公布号 CN102912348A 申请公布日 2013-02-06
授权公布号 CN102912348B 授权公告日 2016-01-13
分类号 C23F1/08
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 东莞市五株电子科技有限公司
申请人地址 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号
专利法律状态
  • 2016-01-13
    授权
    状态信息
    授权
  • 2013-03-20
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/08申请日:20121114
  • 2013-02-06
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明提供一种蚀刻装置,所述蚀刻装置包括第一喷淋管、两个第二喷淋管、阀门和传送轨道,所述第一喷淋管和所述两个第二喷淋管沿着所述传送轨道的传送方向设置于所述传送轨道的上方,所述两个第二喷淋管分别设置在所述第一喷淋管的两端,所述阀门分别设置在所述第一喷淋管和所述两个第二喷淋管上,所述阀门控制所述第一喷淋管的喷淋量与所述第二喷淋管的喷淋量相异。本发明还提供了采用所述蚀刻装置的蚀刻工艺,本发明的蚀刻装置及蚀刻工艺具有蚀刻效果均匀的优点。