MRAM器件的制造方法_专利查询-品牌网

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

MRAM器件的制造方法

有效

专利申请进度

申请

2019-05-16

申请公布

2020-11-17

授权

2023-04-07

预估到期

2039-05-16

专利基础信息

申请号	CN201910407222.8	申请日	2019-05-16
申请公布号	CN111952440A	申请公布日	2020-11-17
授权公布号	CN111952440B	授权公告日	2023-04-07
分类号	H10N50/10;H10N50/01;H10B61/00
分类	基本电气元件;
申请人名称	中电海康集团有限公司
申请人地址	浙江省杭州市余杭区文一西路1500号1幢311室

专利法律状态

2023-04-07

授权

状态信息

授权
2020-11-17

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供一种MRAM器件的制造方法，包括：在底电极上依次形成MTJ元件层、第一硬掩膜层和第二硬掩膜层；图形化第二硬掩膜层，依次刻蚀第二硬掩膜层及第一硬掩膜层；去除剩余的第二硬掩膜层；沉积一保护层，所述保护层覆盖剩余的第一硬掩膜层的侧壁和表面以及MTJ元件层的表面；对保护层进行刻蚀，只保留覆盖于剩余的第一硬掩膜层的侧壁的保护层；以剩余的第一硬掩膜层及其侧壁的保护层为硬掩膜，刻蚀MTJ元件层，得到MTJ预制件；去除覆盖于剩余的第一硬掩膜层的侧壁的保护层；以剩余的第一硬掩膜层为硬掩膜，刻蚀MTJ预制件，得到与剩余的第一硬掩膜层的侧壁平齐的MTJ元件。本发明能够降低MTJ元件的侧壁损伤，提高MRAM器件的可靠性。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信