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专利状态
一种Demura多轴自动检测机构
有效
专利申请进度
申请
2018-07-06
申请公布
2018-12-07
授权
2024-02-27
预估到期
2038-07-06
专利基础信息
申请号
CN201810735111.5
申请日
2018-07-06
申请公布号
CN108956623A
申请公布日
2018-12-07
授权公布号
CN108956623B
授权公告日
2024-02-27
分类号
G01N21/88
分类
测量;测试;
申请人名称
武汉精测电子集团股份有限公司
申请人地址
湖北省武汉市洪山区南湖大道53号洪山创业中心4楼
专利法律状态
2024-02-27
授权
状态信息
授权
2019-01-01
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):G01N21/88;申请日:20180706
2018-12-07
公布
状态信息
公布
摘要
本发明公开了一种Demura多轴全自动检测机构,其包括机架和CCD相机,机架上设置有移栽模组,移栽模组的活动端连接有连接架,CCD相机连接于连接架下方;连接架与CCD相机之间设置有同轴布置的第一直线滑台、第二直线滑台、摆动滑台和齿轮调焦机构。与传统Demura检测机构相比,本发明结构简单、使用方便,其可使CCD相机沿X轴、Y轴和Z轴方向位移,同时绕X轴、Y轴、Z轴转动,同时实现了全自动调节,且具有焦距调节机构,避免CCD相机沿Z轴方向调整幅度过大造成对焦不精确及损坏相机。
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